磁控溅射薄膜沉积仪
* 工作室背底真空： 1x10-5Pa
* 2－4套磁控溅射靶
* 两套直流和一套射频溅射电源
* MAXTEK 薄膜测厚仪 (MDC-360)
* 衬底偏压： 0－300 V
微波等离子体辅助化学气相沉积装置
* 工作室背底真空: 3x10-4 Pa
* 微波功率: 300-3000 W; 工作频率：2.46 MHz
* 工作气压: 500-5000 Pa
* 衬底温度: RT-1100 ℃ 可调控
* 气体供应: 四路质量流量控制
* 衬底偏压: 0-300 V 可调
* 样品直径: 100 mm
MML纳米压痕仪
* 最大载荷: 500 mN
* 最小载荷: < 1 uN
* 载荷分辨率: 30 nN
* 位移分辨率: 0.001 nm
* 样品测量温度: RT-500℃
* 热漂移: ~0.004 nm/S
* 原位成像区域: 200 um x 200 um
超高真空场电子发射仪
* 工作室背底真空: 6x10-8 Pa
* 两极或三极测量结构
* 工作电压: 0-10 kV DC
* 工作距离: 0-5000 μm 可调
* 测量温度: LN-600 K 可调
* 测量数据计算机自动采集
TESCAN扫描电子显微镜
* 分辨率: 3 nm at 30 kV；8 nm at 3 kV
* 放大倍率：4.5x-300,000x 连续可调
* 加速电压: 200-30 kV DC
* 工作真空: < 9x10-3 Pa
* 图象尺寸: 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
4200-SCS集成参数分析仪
* 工作电源：最大工作电压：200V；最大工作电流：100 mA
* 宽范围I-V测量：电压测量分辨率：1μV，电流测量分辨率：0.1 fA
* CV测量: 频率范围1 kHz ～10 MHz的变频测量
* 脉冲（超快）IV测量: 最高电压40V、最小测量脉宽60 nS
电子薄膜应力测量仪
* 样品尺寸: 2－4英寸
* 最小弯曲度: 5 米
* 测量精度: 5％
PARSTAT 2273 电化学工作站
• 最大工作电流: 2 A
• 电流分辨率:1.2 fA
• 工作电压范围: 0-100 V
• 输入阻抗: >1013 Ω
• 电容: <5 pF
• 工作频率: 10 µHz - 1 MHz
磁过虑真空弧等离子沉积系统
* 真空室背底真空: 3x10-4 Pa
* 双靶室结构
* 多层薄膜制备
* 多价态离子沉积
* 衬底偏压: 0-300 V 可调
* 衬底旋转速度: 0-30 r/min
马尔文纳米粒度仪（Nano ZS90）
* 粒度范围：0.3nm- 10um
* Zeta电位测量范围：无实际限制
* 电导率测量范围：0～200mS/cm
*迁移率测量范围：无实际限制
* 工作温度: 0-90 ℃ 可调
*样品类型：水基、油基、醇基
Thermo Fisher Biofuge stratos 高速离心机
* 温度控制：-19℃-40℃
* 最高转速17000－23300rpm
* 最大离心力50377*g
纳米光电测量系统
* 波长范围：200－2500 nm
* 光谱分辨率：0.1nm
* 平行光束尺寸：Ф2~20mm
* 电流精度：1pA
管式热化学气相沉积系统
* 工作室：: Ф100 mm 石英管
* 工作气压: 常压
* 工作温度: RT-1100 ℃ 可调
* 气体供应: 四路质量流量控制